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TOC降解器

超純水制備中,TOC(總有機碳)的降解重要,采用UV-185nm低壓紫外技術,并結合UV-254nm紫外線殺.菌器,能夠通過高劑量的UV-185nm紫外光催化,在水中產生羥基自由基,對水中的有機物進行氧化降解,以降水中的TOC含量。

產品簡介:

超純水制備中,TOC(總有機碳)的降解重要,采用UV-185nm低壓紫外技術,并結合UV-254nm紫外線殺.菌器,能夠通過高劑量的UV-185nm紫外光催化,在水中產生羥基自由基,對水中的有機物進行氧化降解,以降水中的TOC含量。


產品特點:

● 響應時間少于5min,可達到氧化;

● 樣品的成分和氧化過程產生的副產品不會造成干擾;

● 使用可靠的NDIR技術,保證在低濃度的情況下測量的準確度;

● 先進的自診斷功能,自清洗系統。

● 檢出限為5μg/L,專為凝結水回用設計。


工作原理:

TOC降解器中裝有可產生185nm波長的紫外燈管,當純水用185nm紫外光直接照射時,水中TOC與光子直接碰撞的幾率很低,靠水中TOC雜質直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困難的,所以可以認為185nm紫外光降解水中TOC時185nm紫外光先與水作用,引起水的均裂反應, 因而185nm紫外光照射水時,在185nm紫外光所能照射的范圍內可以產生中間體HO-,H·和eaq(水合電子),這些活性中間體再與水中有機物發生親電、親核或電子轉移反應,引起水中有機物的降解和礦化,并降TOC濃度。


TOC降解器


為什么會使用185nm波長:

目前超大規模集成電路的生產和研究水平的需要,為使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,首先在高純水設備中用185nm紫外線照射,使水中TOC降到小于3μg/L,解決了兆位電路及大直徑硅片用高純水的關鍵技術難題。若不用185nm紫外線照射,目前高純水中TOC較好的只能做到20~50μg/L。

185nm紫外線是一種波長較短、能量較高的超紫外線,其能量相當于6.7eV,而一般用于高純水中的為254nm波長的紫外線,其能量相當于4.88eV,對于這兩種紫外線去除有機物,下圖列出某些有機物化學鍵的鍵能及相應的波長。


化學鍵的鍵能表:


化學鍵

鍵能

化學鍵

鍵能

kj.mol-1

/eV

波長/nm

kj.mol-1

/eV

波長/nm

C-C

C=C

C=C

C-F

C-CI

C-H

C-O

347.5

615.5

812.2

489.8

326.6

414.5

360.1

3.6

6.4

8.4

5.1

3.4

4.3

3.7

344

194

148

243

364

288

335

C-O

C-N

C-N

C-S

C-O

C-H

Si-O

728.5

305.6

824.8

477.3

594.5

467.1

467.1

7.6

3.2

6.4

4.9

6.2

4.8

4.8

163

387

194

253

200

258

258


根據上圖所列各種化學鍵,若用185nm紫外線,除C≡C,C=O鍵外,其余化學鍵的鍵能均小于6.7eV,均能被破壞。若用254nm紫外線,其鍵能為4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O鍵的鍵能均大于4.88eV,都不能被破壞,而O-H、Si-O鍵的鍵能與254nm紫外線接近,也不易被破壞,因此許多有機物在185nm紫外線下被破壞,而在254nm波長的紫外線下不能被破壞,這就是185nm紫外線更能有效降水中的TOC的道理。利用這一鍵能理論,以185nm紫外線照射高純水應降TOC,使兆位電路用水TOC下降到小于3μg/L,并成功地用于ULSI和直徑200mm硅片及硬盤磁頭生產中。

主要功能及特征:

a、用于超純水制配中TOC降解。

b、紫外線TOC降解設備必須安裝混床,以保證不增加新的TOC及恢復水中的電解氯。

c、TOC降解的幅度取決于水中TOC的構成情況及紫外線TOC降解設備劑量設計。紫外線TOC降解設備能夠使TOC降到10ppb。


適用范圍:TOC分析儀適用于化工、石化和電廠凝結水回用的TOC分析


案例現場:

應用:EDI生產線

客戶:通用電氣水處理技術有限公司

余姚現場 (6).jpg

優勢:脫除TOC效率大于60%,性能穩定可靠

概述:處理水量15T/H

項目概況:通用電氣公司(GE)是多元化服務性公司,500強之中位居前列。

檢驗生產調試包裝

不銹鋼材質分析及檢驗

QQ圖片20200707101418.jpg


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